真空干燥箱的工作流程

    真空干燥箱的工作流程
    真空干燥箱主要適用于IC、BGA、精密電子組件、特殊化學(xué)藥品、精密儀器 、中藥材、古董名畫(huà)等做防潮儲(chǔ)存用。其防潮原理是利用高分子物料理吸濕材質(zhì)將濕氣帶出，其飽和后，主機(jī)板自動(dòng)加熱，再次循環(huán)，此產(chǎn)品是常年插電使用，且功率較小，無(wú)需更換耗材，是各類(lèi)物料做防潮存放的好幫手。
   真空干燥箱簡(jiǎn)稱(chēng)干燥箱，分為250度、300度、400度和500度配置，主要用于各種產(chǎn)品或材料及電子、電工、化工等在恒溫環(huán)境下做干燥和各種恒溫適應(yīng)性試驗(yàn)。客戶(hù)要根據(jù)自己不同的需求選配不同的溫度配置。
   真空干燥箱的一般工作流程：
   先確定真空干燥箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_(kāi)真空泵抽真空，待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后，開(kāi)始充人氮?dú)猓涞竭_(dá)到某低真空度后，再次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^(guò)程，到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后，開(kāi)始保持一段時(shí)間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開(kāi)始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后，停止充入藥液，進(jìn)入保持階段，使硅片充分反應(yīng)。
    當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后，再次開(kāi)始抽真空。充入氮?dú)猓瓿烧麄€(gè)作業(yè)過(guò)程，整個(gè)反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(*基硅烷基較大)阻止其進(jìn)一步反應(yīng)，尾氣排放等：多余的蒸汽（尾氣）將由真空泵抽出，排放到廢氣收集管道。在無(wú)廢氣收集管道時(shí)需做專(zhuān)門(mén)處理。真空干燥箱是專(zhuān)業(yè)為干燥熱敏性、易分解和易氧化物質(zhì)而設(shè)計(jì)的，工作時(shí)可使工作室內(nèi)保持一定的真空度，并能夠向真空干燥箱的內(nèi)部充入惰性氣體，特別是一些成分復(fù)雜的物品也能進(jìn)行快速干燥，溫控儀采用韓國(guó)進(jìn)口HM品牌的智能型數(shù)字溫度調(diào)節(jié)儀進(jìn)行溫度的設(shè)定、顯示與控制。
　　“相對(duì)真空度”是指被測(cè)對(duì)象的壓力與測(cè)量地點(diǎn)大氣壓的差值。真空干燥箱在沒(méi)有真空的狀態(tài)下(即常壓時(shí))，表的初始值為0。當(dāng)測(cè)量真空時(shí)，它的值介于0到-101.325KPa(一般用負(fù)數(shù)表示)之間。